PEEK在半导体领域大展身手
所属分类:行业资讯点击次数:1855 次发布日期:2021-08-04 15:43
由于新冠疫情的持续,以及通信设备、消费电子、汽车等各领域对芯片的需求还在不断增加,全球的芯片缺货涨价潮愈演愈烈。芯片是信息技术产业重要的基础性部件,同时也是影响整个高新技术领域的关键产业。
CMP固定环是用来在研磨过程中用来固定晶圆的,选择的材料应避免晶圆表面刮伤、污染等,通常使用标准型PPS制作。
PEEK具有较高的尺寸稳定性、易于加工性、良好的机械性能、良好的耐化学腐蚀性以及良好的耐磨性,与PPS环相比,采用PEEK制成的CMP固定环耐磨性更强,使用寿命延长一倍,从而减少故障停机时间,提高晶圆产能。
晶圆制造过程繁复且要求苛刻,在这个过程中需要使用载具来保护、运送、并储存晶圆,如前开式晶圆传送盒(FOUP) 和晶片花篮。半导体载具有一般传输制程和酸碱制程使用之分,加热和制冷过程的温度变化以及化学处理过程会引起晶圆载具尺寸发生变化,从而导致晶片擦伤或者破裂。
PEEK具有耐高温、耐磨性、尺寸稳定好、低释气性以及低吸湿性等特性,用PEEK晶片夹夹取晶圆、硅片的时候,不会对晶圆、硅片的表面产生划痕不会因摩擦而对晶圆、硅片产生残留物,从而提高了晶圆、硅片的表面洁净度。
抗静电PEEK材料可用于制作真空吸笔的吸笔头,用于吸附小尺寸晶圆,且不会造成晶圆的刮伤、污染。
随着半导体生产自动化提高,可搭配采用抗静电PEEK制成的真空无痕吸盘进行抓取和投放,PEEK材质纯度高,耐高温,吸取物体时不留痕迹,无污染。
此外,随着节能减排以及减少塑料污染的环保意识增强,半导体行业倡导绿色制造,特别是芯片市场需求强劲,而芯片生产需要的晶圆盒等部件需求量庞大,对环境影响不容小觑。因此,半导体行业将晶圆盒等经过清洗后循环再利用以减少资源浪费。而PEEK在多次加热后,性能损耗最小,100%可回收。
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